據搜狐新聞網7月(yuè)24日(rì)訊，超淨高(gāo)純化(huà)學品是(shì)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)技(jì)術(shù)發展過程Ω中不(bù)可(kě)缺少(shǎo)的(de)關鍵基礎化(huà)工(gōng)材料，主要(yào)應用 (yòng)在半導體(tǐ)、平闆顯示、太陽能(néng)光(guāng)伏領域等及微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、光(guāng)電(diàn)子(zǐ)器(qì)件 (jiàn)制(zhì)造領域。随著(zhe)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)技(jì)術(shù)的(de)迅猛發展，對₩(duì)超淨高(gāo)純試劑的(de)要(yào)求和(hé)标準也(yě)不(bù)斷在提高(gāo)。超淨高(gāo)純化(huà)學品的(de)純度和(hé)潔淨度對↓(duì)集成電(diàn)路(lù)的(de)成品率、電(diàn)性能(néng)及可(kě)靠性均有(yǒu)十分(fēn)重要(yào)的(de)影(yǐng§)響。不(bù)同線寬的(de)集成電(diàn)路(lù)（IC）制(zhì)作(zuò)工(gōng)藝技(jì)術(shù)，對(duì)超淨高(gāo)純化(huà)學品中金(jīn)屬雜(βzá)質和(hé)顆粒物(wù)的(de)标準也(yě)不(bù)同，如(rú)下(xià)表所示：

超淨高(gāo)純化(huà)學品伴随著(zhe)集成電(diàn)路(lù)的(de)整個(gè)制(zhì)作(z→uò)過程，在濕法工(gōng)序中，化(huà)學品中的(de)金(jīn)屬雜(zá)質會(huì)危•害到(dào)電(diàn)子(zǐ)元器(qì)件(jiàn)電(diàn)性能(néng)，極微(wēi)量的(de)金(jīn)屬雜​(zá)質就(jiù)會(huì)嚴重影(yǐng)響半導體(tǐ)的(de)産品質量。如(rú)Au、Pt≠、Fe、Ni、Cu等，屬于矽片中的(de)快(kuài)擴散物(wù)質，影(yǐng)響元器(qì)件(jiàn)的(de)可(kě)靠性和(hé)阈值電(₹diàn)壓，可(kě)能(néng)導緻低(dī)擊穿和(hé)缺陷。堿金(jīn)屬如(rú)Na、K，會(huì)融進氧化(huà)÷膜中，造成元器(qì)件(jiàn)漏電(diàn)、造成低(dī)擊穿危害。P、As、Ab、Al等屬于矽片中的(de)淺能(néng)級雜(zá)質，有(yǒu)擴散作(​zuò)用(yòng)，可(kě)影(yǐng)響電(diàn)子(zǐ)和(hé)空(kōng)穴數(shù)量。随著(zhe)集成電(diàn)路(lù)的(₹de)集成度的(de)日(rì)益提升超淨高(gāo)純化(huà)學品中的(de)金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)含量要(yào)求也(yě)越來(l↕ái)越嚴格。

目前國(guó)內(nèi)外(wài)制(zhì)備超淨高(gāo)純試劑的(de)常用(yòng)技(jì)術(shù)主要(yào)有(yǒu)：蒸餾、精餾、樹(shù)脂交換、重λ結晶、化(huà)學處理(lǐ)、膜處理(lǐ)等技(jì)術(shù)。膜處理(lǐ)技(jì)術(shù)是(shì)物(wù)理(lǐ)分(fēn)離(lí)過程，無Ω需加熱(rè)和(hé)無需添加任何化(huà)學試劑，是(shì)去(qù)除微(wēi)量金(jīn)屬‍離(lí)子(zǐ)雜(zá)質的(de)有(yǒu)效方式。國(guó)初科(kē)技(jì)根據多(duō)年(ni‌án)的(de)膜技(jì)術(shù)應用(yòng)經驗，開(kāi)發了(le)一(yī)種脫除超淨高(gāo)純化(huà)學品中金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)工(gōng)藝 。

工(gōng)藝流程：

為(wèi)避免接觸部件(jiàn)的(de)溶出物(wù)污染，工(gōng)藝流程中與超淨高(gāo)純≥化(huà)學品接觸部件(jiàn)均需采用(yòng)高(gāo)純材質。一(yī)級膜組件(jiàn)可(kě)将金(j&īn)屬離(lí)子(zǐ)雜(zá)質含量降低(dī)至ppb級别，二級膜組件(jiàn)可(kě)将金(jīn)屬離(lí)子(zǐ)雜(zá)質含量降低(dī)至ppt級别，三級膜組件(ji®àn)為(wèi)終端過濾确保溶劑無顆粒，精度最高(gāo)可(kě)達5nm。本工(gōng)藝對(duì)K​、Na、Ca、Cu、Fe、Mg等金(jīn)屬雜(zá)質都(dōu)有(yǒu)較好(hǎo)的(de)去(qù≈)除效果。

與傳統蒸餾工(gōng)藝比，本工(gōng)藝的(de)裝置占地(dì)面積小(xiǎo)，操作(zuò)非常容易，系統密封，能(néng)耗σ低(dī)，環境友(yǒu)好(hǎo)。不(bù)僅可(kě)以用(yòng)在超淨高(gāo)純化(huà)學品生(shēng)産ε，還(hái)可(kě)以在半導體(tǐ)制(zhì)程上(shàng)其他(tā)高(gāo)純試劑的(de)純化(huà)應用(yòng)，如(rú)§樹(shù)脂、聚合物(wù)等光(guāng)刻化(huà)學産品。

國(guó)初科(kē)技(jì)（廈門(mén)）有(yǒu)限公司自(zì)成立以來(lái)，以膜分(fēn)離(lí™)技(jì)術(shù)為(wèi)核心，緻力于新型分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)推廣，不(bù)斷探索新型膜分(fēn)離(lí‌)技(jì)術(shù)在微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、冶金(jīn)、化(huà)工(gōng)、機(jī)械、食品、乳品、飲料、環境等領域的(de)新應用(yòng)，根♥據不(bù)同客戶的(de)高(gāo)度差異化(huà)需求，提供針對(duì)性的(de)過濾及純化(huà)綜合解決方案，提高(gāo)産品ε的(de)品質，滿足客戶的(de)需求。