據網易新聞2月(yuè)27日(rì)訊，在半導體(tǐ)制(zhì)造這(zhè)一(yī)精密而複雜(zá)的(de)領域中，超純水(shuǐ)扮演著(zhe)至關重要(yào)的(de)角±色。作(zuò)為(wèi)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)行(xíng)業(yè)的(de)工(gōng)藝用(yòng)水(shuǐ)，超純水(±shuǐ)被廣泛應用(yòng)于各個(gè)制(zhì)程前後的(de)濕法清洗環節。其水(shuǐ)質的("de)純淨度直接關系到(dào)産品的(de)良率和(hé)設備的(de)性能(néng)。而在超純水(shuǐ)的(de)生(shēng)産過程中，溶解氧的(de∏)控制(zhì)則是(shì)一(yī)個(gè)至關重要(yào)的(de)環節。

溶解氧是(shì)半導體(tǐ)超純水(shuǐ)中的(de)一(yī)大(dà)隐患。在半導體(tǐ)生(shēng)産過程中，矽晶圓和(hé)銅互連等關鍵部件(ji☆àn)極易受到(dào)氧化(huà)腐蝕的(de)影(yǐng)響，而溶解氧正是(shì)導緻這(zhè)種腐蝕的(‌de)主要(yào)因素之一(yī)據。它會(huì)引發矽晶圓熱(rè)氧化(huà)，進而影(yǐng)響集成電(diàn)路(lù)的(de)性能(néngε)和(hé)可(kě)靠性。因此，嚴格控制(zhì)超純水(shuǐ)中的(de)溶解氧含量，對(d÷uì)于提高(gāo)半導體(tǐ)産品的(de)質量和(hé)良率具有(yǒu)重要(yào)意義。因此，超純水(shuǐ)脫氧成為(wèi)了(le)半導¥體(tǐ)制(zhì)造中不(bù)可(kě)或缺的(de)一(yī)道(dào)工(gōng)藝。

為(wèi)了(le)實現(xiàn)高(gāo)效的(de)超純水(shuǐ)脫氧，業(yè)界采用(yòng)了(l™e)多(duō)種先進的(de)技(jì)術(shù)和(hé)設備。其中，膜接觸器(qì)利用(yòng)擴散的♥(de)原理(lǐ)将水(shuǐ)中的(de)氣體(tǐ)，如(rú)二氧化(huà)碳、氧氣去(qù)除，憑借其卓越的(de)穩定性和(hé)耐久性得( de)到(dào)廣泛的(de)應用(yòng)。其工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)是(shì)基于水(shuǐ)在中空(kōng)纖維膜絲一(yī)側流動 ，同時(shí)中空(kōng)纖維膜絲另一(yī)側抽真空(kōng)或者施加氣體(tǐ)吹掃，或者兩者結合。經過疏水(shuǐ)化(huà)處理(lǐ)的(de)中空(kōng)纖維膜™絲表面上(shàng)有(yǒu)很(hěn)多(duō)微(wēi)孔，這(zhè)些(xiē)微(wēi)孔允許氣體(tǐ)分(fēn)子(zǐ)穿過，卻能(néngφ)阻擋水(shuǐ)分(fēn)子(zǐ)的(de)穿透。在抽真空(kōng)或者氣體(tǐ)吹掃的(de)負壓下(xià)，中空(kōng)纖維膜絲一(yī)側水(shuǐ)中溶♥解的(de)氣體(tǐ)，通(tōng)過微(wēi)孔不(bù)斷向中空(kōng)纖維膜絲另一(yī)側移動，并被φ抽真空(kōng)或者吹掃氣體(tǐ)帶走，從(cóng)而達到(dào)脫除水(shuǐ)中溶解性氣體(tǐ)的(→de)目的(de)。脫氧膜中裝有(yǒu)大(dà)量的(de)中空(kōng)纖維可(kě)以擴大(dà)氣液界面的(de)面積，從(cóng)而提高(gāo)氣體(βtǐ)脫除速度。脫氧膜能(néng)夠将溶氧濃度降低(dī)到(dào)1ppb水(shuǐ)平以下(xià)，将溶解二氧化(huà)碳濃度降低(dī)到₽(dào)1ppm以下(xià)。

膜接觸器(qì)采用(yòng)先進的(de)中空(kōng)纖維膜材料，通(tōng)過物(wù)理(lǐ)擴散原理(lǐ)實現(xiàn)水(shuǐ)中溶解氧的(de)高(gāo)效去✘(qù)除，該技(jì)術(shù)具有(yǒu)顯著的(de)優勢：

•  ‌能(néng)耗低(dī)‌：膜接觸器(qì)無需熱(rè)蒸汽，常溫下(xià)即可(kě)進行(xí¥ng)除氧，極大(dà)地(dì)降低(dī)了(le)能(néng)耗。此外(wài)，其極低(dī)的(de)能(néng)耗（主♣要(yào)由真空(kōng)泵和(hé)氮氣組成）進一(yī)步減少(shǎo)了(le)運行(xíng)成本。
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•  ‌設備體(tǐ)積小(xiǎo)‌：膜接觸器(qì)設備體(tǐ)積小(xiǎo)，安裝和(hé)維護極為(wèi)方便。這(✘zhè)使得(de)設備更容易安裝和(hé)移動，同時(shí)也(yě)方便了(le)擴容。
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•  ‌運行(xíng)穩定‌：膜接觸器(qì)能(néng)夠将溶氧濃度降低(dī)到(dào∞)1ppb水(shuǐ)平以下(xià)，且運行(xíng)穩定，适合各種工(gōng)業(yè)應用(yòng)。
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•  ‌技(jì)術(shù)先進‌：膜接觸器(qì)采用(yòng)高(gāo)分(fēn)子(zǐ)聚合物(÷wù)材料編織成疏水(shuǐ)性的(de)中空(kōng)纖維陣列，具有(yǒu)高(gāo)傳質效率和(hé)抗沖擊能(néng)力，避免了(le)斷絲現(xiàn♦)象。
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•  ‌高(gāo)效除氧‌：膜接觸器(qì)的(de)脫氣效率高(gāo)，能(néng)夠在常溫下(x€ià)高(gāo)效去(qù)除液體(tǐ)中的(de)氧氣，适用(yòng)于各種工(gōng)業(yè)用(yòng)水(shuǐ)處理(l♠ǐ)。
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•  ‌維護成本低(dī)‌：由于設備體(tǐ)積小(xiǎo)且運行(xíng)穩定，膜接觸器(qì)的(de)維護成本相(xiàng)對(duì)較低(dī↑)。
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•  使用(yòng)壽命長(cháng)：脫氣膜具有(yǒu)很(hěn)長(cháng)的(de)使用(yòng)壽命 ，減少(shǎo)了(le)設備故障和(hé)停機(jī)時(shí)間(jiān)，降低(dī)了(le)σ維護成本。

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