據搜狐新聞網2月(yuè)28日(rì)訊，在半導體(tǐ)制(zhì)造領域，純水(shuǐ)是(shì)不(bù)可(kě)或缺的×(de)“生(shēng)命線”，其質量直接關系到(dào)芯片的(de)性能(®néng)和(hé)良率。除了(le)對(duì)水(shuǐ)中離(lí)子(zǐ)、顆粒物(wù)的(de)嚴格$控制(zhì)外(wài)，溶解氣體(tǐ)和(hé)靜(jìng)電(diàn)問(wèn)題也(yě)是(shì)影(yǐng)響生(shē‌ng)産的(de)關鍵因素。在高(gāo)端芯片生(shēng)産制(zhì)造過程中，靜(jìng)電(diàn)會(huì)損傷産品，造成産品缺陷。因此，如(rú)何有(yǒu)效防止靜(jì↓ng)電(diàn)産生(shēng)，成為(wèi)半導體(tǐ)超純水(shuǐ)工(gōng)藝亟待解決的(de)難題。

傳統方法中，直接噴淋純水(shuǐ)和(hé)循環沖洗雖能(néng)在一(yī)定程度上(shàng)消↕除靜(jìng)電(diàn)，卻存在諸多(duō)弊端。其電(diàn)阻率易受溫度、濕度以及設備老(lǎo)化(huà)等因素影(yǐng)響，穩定性差，導緻靜(jìng)電(di↕àn)防護效果時(shí)好(hǎo)時(shí)壞，增加了(le)産品因靜(jìng)電(diàn)損壞的(de)風(fēng)險。維✔護成本也(yě)相(xiàng)當高(gāo)昂，定期的(de)水(shuǐ)質檢測需采購(gòu)昂貴的(de)設備和(hé)試劑，過濾設備、離(lí)子(zǐ)交換樹(shù)脂®等耗材的(de)更換頻(pín)繁，人(rén)工(gōng)成本也(yě)不(bù)容小(xiǎo)觑，給企業(yè)帶來(lái)沉重負擔。而且，它對( duì)環境要(yào)求苛刻，生(shēng)産車(chē)間(jiān)需嚴格控制(zhì)潔淨度，純水(shuǐ)儲存和(hé)輸送需特殊容器(qì)和(hé)管道(dào)，限制↔(zhì)了(le)應用(yòng)場(chǎng)景。此外(wài)，一(yī)旦出現(xiàn)靜(jìng)電(diàn)突發≈狀況，由于純水(shuǐ)制(zhì)備和(hé)循環耗時(shí)，應急響應能(néng)力不(bù)足，難以在關鍵時♠(shí)刻保護産品和(hé)設備。

在半導體(tǐ)純水(shuǐ)防靜(jìng)電(diàn)領域，采用(yòng)新型無氣泡的(de)膜加氣技(jì)術(shù)。讓高(gāo)純度二氧化(huà)碳均勻溶解δ到(dào)超純水(shuǐ)中。二氧化(huà)碳溶解于純水(shuǐ)中，會(huì)形成碳酸根離(lí)子(zǐ)，使得(de)水(shuǐ)箱中純水(shuǐ)的≠(de)電(diàn)阻率大(dà)幅度降低(dī)，防止在半導體(tǐ)材料劃片制(zhì)程、清洗過程中産生(shēng)靜(jìng')電(diàn)損傷産品，消除切割微(wēi)粒的(de)靜(jìng)電(diàn)吸附便于清洗。産品清洗烘幹後，二氧化(hu¶à)碳會(huì)揮發不(bù)殘留任何雜(zá)質，不(bù)造成污染。

無氣泡膜加氣技(jì)術(shù)所用(yòng)的(de)膜是(shì)一(yī)種疏水(shuǐ)性膜。膜€的(de)一(yī)側為(wèi)二氧化(huà)碳，另外(wài)一(yī)側走水(shuǐ)。二氧化(huà)碳可(kě)以自(zì)由穿過膜而均勻溶解到(dào)水(shuǐ)裡(lǐ)，水↓(shuǐ)側的(de)水(shuǐ)及離(lí)子(zǐ)不(bù)能(néng)透過膜，通(tōng)過精密調節控制(zhì)二氧化(huà)碳的(de)量™，可(kě)以實現(xiàn)精确控制(zhì)水(shuǐ)側二氧化(huà)碳的(de)濃度，從(cóng)而精确調節超純水(shuǐ)的(de)電(diàn)阻率。

加氣膜在半導體(tǐ)純水(shuǐ)防靜(jìng)電(diàn)方面發揮了(le)顯著作(zuò)用(yòng)：

無二次污染：采用(yòng)高(gāo)純二氧化(huà)碳氣體(tǐ)作(zuò)為(wèi)降低(dī)電(diàn)阻的(de)物(wù)質引入超純水(shuǐ)中，烘幹後二氧化(huà)碳可(≤kě)以完全揮發，不(bù)殘留任何雜(zá)質。不(bù)會(huì)對(duì)産品造成二次污染。

精準控制(zhì)：通(tōng)過加氣膜組件(jiàn)可(kě)以快(kuài)速、穩定、精确地(dì)控制(zhì)二氧化(huà)碳溶解量，節省二氧化(h≤uà)碳消耗，滿足用(yòng)水(shuǐ)電(diàn)阻要(yào)求。

使用(yòng)壽命長(cháng)：加氣膜性能(néng)穩定，具有(yǒu)很(hěn)長(cháng)的(de)使用(yòng)壽命，減少(shǎo)了(le)設備故障和(hé)停機(jī)時(sh®í)間(jiān)，降低(dī)了(le)維護成本，為(wèi)半導體(tǐ)制(zhì)造提供了(le)有(yǒu)力保障。

國(guó)初科(kē)技(jì)（廈門(mén)）有(yǒu)限公司自(zì)成立以來(lái)，以膜分(fēn)離(lí)技(¶jì)術(shù)為(wèi)核心，緻力于新型分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)推廣，不(bù)斷探索新型膜分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)在生(shēng)物(wù)←制(zhì)藥、微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、冶金(jīn)、化(huà)工(gōng)、機(jī)械、食品、乳品、飲料ε、環境等領域的(de)新應用(yòng)，根據不(bù)同客戶的(de)高(gāo)度差異化(huà)需求，提供針對(duì)性的(de) 過濾及純化(huà)綜合解決方案，提高(gāo)産品的(de)品質，滿足客戶的(de)需求。