在半導體(tǐ)制(zhì)造這(zhè)一(yī)精密而複雜(zá)的(de)領域中，超純水(shuǐ)扮演著(zhe)★至關重要(yào)的(de)角色。作(zuò)為(wèi)微(wēi)電(diàn)子(zǐ)行(xíng)業(yè)的(de)工(gōng)藝用(yòng)水(shuǐ)，超純水(₩shuǐ)被廣泛應用(yòng)于各個(gè)制(zhì)程前後的(de)濕法清洗環節。其水(shuǐ)質的(de)純淨度直接關系到(≥dào)産品的(de)良率和(hé)設備的(de)性能(néng)。而在超純水(shuǐ)的(de)生(shēng)産過程中，溶解氧的δ(de)控制(zhì)則是(shì)一(yī)個(gè)至關重要(yào)的(de)環節。
溶解氧是(shì)半導體(tǐ)超純水(shuǐ)中的(de)一(yī)大(dà)隐患。在半導•體(tǐ)生(shēng)産過程中，矽晶圓和(hé)銅互連等關鍵部件(jiàn)極易受到(dào)氧化(huà)腐蝕的(de)影(yǐng)響，而溶→解氧正是(shì)導緻這(zhè)種腐蝕的(de)主要(yào)因素之一(yī)。它會(huì)引發矽晶圓熱(rè)氧化(huà)，進而影(yǐng)響集成電 (diàn)路(lù)的(de)性能(néng)和(hé)可(kě)靠性。因此，嚴格控制(zhì)超純水(sh$uǐ)中的(de)溶解氧含量，對(duì)于提高(gāo)半導體(tǐ)産品的(de)質量和(hé)良率具有(yǒu)重要(yào)意義。因此，超純水(shuǐ)脫氧成為(wèi)了(le) 半導體(tǐ)制(zhì)造中不(bù)可(kě)或缺的(de)一(yī)道(dào)工(gōng)藝。
為(wèi)了(le)實現(xiàn)高(gāo)效的(de)超÷純水(shuǐ)脫氧，業(yè)界采用(yòng)了(le)多(duō)種先進的(de)技(jì)術(shù)和(hé)設備。其中，膜接觸器(qì)利用↓(yòng)擴散的(de)原理(lǐ)将水(shuǐ)中的(de)氣體(tǐ)，如(rú)二氧化(huà)碳、氧氣去(qù)↑除，憑借其卓越的(de)穩定性和(hé)耐久性得(de)到(dào)廣泛的(de)應用(yòng)。其工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)是(shì)基于水(shuǐ)在中空(kōng>)纖維膜絲一(yī)側流動，同時(shí)中空(kōng)纖維膜絲另一(yī)側抽真空(kōng)或者施加氣體(tǐ)吹掃，或者兩者結π合。經過疏水(shuǐ)化(huà)處理(lǐ)的(de)中空(kōng)纖維膜絲表面上(shàng) 有(yǒu)很(hěn)多(duō)微(wēi)孔，這(zhè)些(xiē)微(wēi)孔允許氣體(tǐ)分(fēn)子(zǐ)穿過，卻能(néng)阻擋水(shuǐ)分(fēn)₽子(zǐ)的(de)穿透。在抽真空(kōng)或者氣體(tǐ)吹掃的(de)負壓下(xià)，中空(kōng)纖維膜絲一(yī)側水(shuǐ)中溶解的(de)≥氣體(tǐ)，通(tōng)過微(wēi)孔不(bù)斷向中空(kōng)纖維膜絲另一(yī)側移動，并被抽真空(kōng)或者$吹掃氣體(tǐ)帶走，從(cóng)而達到(dào)脫除水(shuǐ)中溶解性氣體(tǐ)的(de)目的(de)。脫氧膜中裝有(yǒu)大(dà)量的(de)中空£(kōng)纖維可(kě)以擴大(dà)氣液界面的(de)面積，從(cóng)而提高(gāo)氣體(tǐ)脫除速度。脫氧膜能(néng)夠将溶氧濃度降低(dī)λ到(dào)1ppb水(shuǐ)平以下(xià)，将溶解二氧化(huà)碳濃度降低(dī)到(dào)1ppm以下(xià)。
膜接觸器(qì)采用(yòng)先進的(de)中空(kōng)纖維膜材料，通(tōng)過φ物(wù)理(lǐ)擴散原理(lǐ)實現(xiàn)水(shuǐ)中溶解氧的(de)高(gāo)效去(qù)除，該技(jì)術(shù)具有(yǒu)顯著的(de)優勢：
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能(néng)耗低(dī)：膜接觸器(qì)無需熱(rè)蒸汽，常溫下(xià)即可(kě)☆進行(xíng)除氧，極大(dà)地(dì)降低(dī)了(le)能(néng)耗。此外(wài)，其極低(dī¶)的(de)能(néng)耗（主要(yào)由真空(kōng)泵和(hé)氮氣組成）進一(yī)步減少(shǎo)了(le)運行(xíng)成本β。
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設備體(tǐ)積小(xiǎo)：膜接觸器(qì)設備體(tǐ)積小(xiǎo)，安裝和(hé)維護極為(wèi)方便。這(zhè)使得(de)設備更容易安裝和(hé)移動，同時(shí)也(yě)方便了(le)擴容。
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運行(xíng)穩定：膜接觸器(qì)能(néng)夠将溶氧濃度降低(✘dī)到(dào)1ppb水(shuǐ)平以下(xià)，且運行(xíng)穩定，适合各種工(gōng)業(yè)應用(yòng)。
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技(jì)術(shù)先進：膜接觸器(qì)采用(yòng)高(gāo)分(fēn)子(zǐ)聚合物(wù)材料編織成疏水(shu¥ǐ)性的(de)中空(kōng)纖維陣列，具有(yǒu)高(gāo)傳質效率和(hé)抗沖擊能(néng)力，避免了(÷le)斷絲現(xiàn)象。
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高(gāo)效除氧：膜接觸器(qì)的(de)脫氣效率高(gāo)，能(néng)夠在常溫下(xià)高(gāo)效去(qù)除液體(tǐ )中的(de)氧氣，适用(yòng)于各種工(gōng)業(yè)用(yòng)水(shuǐ)處理(lǐ)。
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維護成本低(dī)：由于設備體(tǐ)積小(xiǎo)且運行(xíng)穩定，膜接觸器(qì)的(de)維護成本相(xiàng)對π(duì)較低(dī)。
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使用(yòng)壽命長(cháng)：脫氣膜具有(yǒu)很(hěn)長(cháng)的(de)使用(yòngφ)壽命，減少(shǎo)了(le)設備故障和(hé)停機(jī)時(shí)間(jiān)，降低(dī)了(le)維護成本。
國(guó)初科(kē)技(jì)（廈門(mén)）有(yǒu)限公司自(zì)成立以來(lái)，以膜分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù→)為(wèi)核心，緻力于新型分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)推廣，不(bù)斷探索新型膜分₽(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)在生(shēng)物(wù)制(zhì)藥、微(wēi)電(diàn)子(zǐ)、冶金(jīn)、化(huà)工(gōng)、機(j≠ī)械、食品、乳品、飲料、環境等領域的(de)新應用(yòng)，根據不(bù)同客戶的(de)高(gāo)度差異化(huà)需求，提供針對(duì)性的(de)過濾及純±化(huà)綜合解決方案，提高(gāo)産品的(de)品質，滿足客戶的(de)需求。
