發表日(rì)期:2023-01-15 22:19文(wén)章(zhāng)編輯:國(guó)初科(kē)技(jì)浏覽次數(shù): 标簽:
據搜狐新聞1月(yuè)15日(rì)訊,在電(diàn)廠(chǎng)、半導體(tǐ)行(xíng)業(yè)中,對(duì)純水(sh✔uǐ)的(de)要(yào)求高(gāo),水(shuǐ)中溶解的(de)二氧化(huà)碳會(huì)影(yǐng)響水(shuǐ)質,在初純水(shuǐ)ED✘I前去(qù)除二氧化(huà)碳可(kě)使産水(shuǐ)水(shuǐ)質從(cóng)1.0兆提升至 18.0兆,可(kě)大(dà)大(dà)提高(gāo)EDI産水(sh♣uǐ)的(de)矽、硼去(qù)除率,給終端抛光(guāng)混床減輕壓力的(de)同時(shí),大(dà)幅提高(gāo)終端水( shuǐ)質。
特别是(shì)8英寸以上(shàng)半導體(tǐ)晶圓工(gōng)業(yè)用(yòng)純水(shuǐ),對(du™ì)水(shuǐ)中矽、硼的(de)含量要(yào)求更高(gāo),因為(wèi)純水(shuǐ)在清洗矽片時(shí),水(shuǐ)中的(de)矽在矽片&表面上(shàng)沉積,将影(yǐng)響熱(rè)氧化(huà)層的(de)質量,産生(shēng)表面缺陷,造成器(qì)件(jiàn)良品率降低(dī)。為(wèi)了(le)能(néng)$使終端純水(shuǐ)水(shuǐ)質達到(dào)生(shēng)産要(yào)求,需要(yào)在初純水(shuǐ)端就(jiù)要(yào)對(duì)水(sh≠uǐ)中矽、硼進行(xíng)嚴格控制(zhì),否則終端抛光(guāng)混床難以實現(xiàn)。
制(zhì)藥行(xíng)業(yè)同樣需要(yào)超純脫氣水(shuǐ),溶解的(de)氣體(tǐ)會(huì)影(yǐng)響生(shēng)産效率和(hé)産品質量。同時(♦shí),制(zhì)藥行(xíng)業(yè)需要(yào)将工(gōng)藝用(yòng)水(shuǐ)中的(de)二氧化(huà)碳控制 (zhì)在很(hěn)低(dī)的(de)水(shuǐ)平,以便控制(zhì)水(shuǐ)的(de)導電(diàn)性和(hé)PH值。
脫氣膜可(kě)以減少(shǎo)半導體(tǐ)、制(zhì)藥等行(xíng)業(yè)生(shēng)産工(gōng)ε藝用(yòng)水(shuǐ)中的(de)二氧化(huà)碳,降低(dī)二氧化(huà)碳濃度,以提升電↓(diàn)去(qù)離(lí)子(zǐ)工(gōng)藝效率。
使用(yòng)膜法去(qù)除水(shuǐ)中的(de)二氧化(huà)碳,是(shì)讓水(shuǐ)在中空(kōng)纖維膜管內(nèi)流動,改變管外✘(wài)氣體(tǐ)的(de)壓力情況,如(rú)通(tōng)過負壓或增壓(加純N2等)的(de)方法,減小(xiǎo)氧氣、二氧化(huà)碳在水(sh≈uǐ)的(de)溶解度,從(cóng)而達到(dào)去(qù)除的(de)效果。這(zhè)是(shì)膜分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)一(yī)種新的(de)應用(yòng)方式,是(shì)新型的(de)氣/液膜分(fēn)離(lí)工(gōng)藝過程。根據不(bù)同的(de)脫碳精度要(yào)求,采用(yòng)抽真€空(kōng)、空(kōng)氣氣吹掃或抽真空(kōng)+空(kōng)氣氣吹掃這(zhè)三種不(bù)同的(de)運行(xíng)模式,可(kě)将水(shuλǐ)中溶解性的(de)二氧化(huà)碳脫除低(dī)至0.5ppm。
同時(shí),脫氣膜除了(le)從(cóng)液體(tǐ)中去(qù)除二氧化(huà)碳外(wài),也(yě)可(kě)向液體 (tǐ)添加二氧化(huà)碳,并具有(yǒu)精确性和(hé)可(kě)預測性。在半導體(tǐ)生(shēn®g)産中,由于水(shuǐ)在砂輪劃片工(gōng)藝中用(yòng)于潤滑、冷(lěng)卻和(hé)碎屑的(de)沖洗。為(wèi)避免芯片沾污,應使用(yòng)超純水(shuǐ)。通(tōnαg)常,需在水(shuǐ)中通(tōng)入少(shǎo)量高(gāo)純二氧化(huà)碳氣體(tǐ)起泡≥以減少(shǎo)靜(jìng)電(diàn)損傷,但(dàn)應控制(zhì)二氧化(huà)碳的(de)通(tōng)入量。使用(y'òng)脫氣膜加入工(gōng)藝流程,确保達到(dào)精确的(de)預期濃度,可(kě)改善劃片效果,從(cóng)而節省時(shí)間(jiān)及簡化(huà)生(shēng)産工(gō→ng)藝。
國(guó)初科(kē)技(jì)(廈門(mén))有(yǒu)限公司自(zì)成立以來(lái),以膜分(fēn✘)離(lí)技(jì)術(shù)為(wèi)核心,緻力于新型分(fēn)離(lí)技(jì)術(shù)推廣,不(bù)斷探索新型脫氣膜技(jì)術(shù)在食品、乳品、飲料、微(wēi)電(d iàn)子(zǐ)、冶金(jīn)、化(huà)工(gōng)、機(jī)械、環境等領域的(de)新應用(yòng),為(wè£i)更多(duō)用(yòng)戶提供專業(yè)的(de)氣體(tǐ)分(fēn)離(lí)解決方案。
